Agilent安捷倫-NEG吸氣劑泵使用方法

Agilent安捷倫(lun) NEG吸氣劑泵是一種用於(yu) 抽取氣體(ti) 的特殊類型的真空泵。NEG泵通常被用於(yu) 超高真空（UHV）和XHV的環境，例如在粒子加速器、光源、表麵科學和其他需要非常低氣體(ti) 壓力的實驗中。以下是一般NEG吸氣劑泵的使用方法：

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安裝： 將NEG泵正確安裝在真空係統中。通常，NEG泵被連接到真空室的氣體(ti) 出口或前級泵的入口。確保連接口的密封性能良好，以防止氣體(ti) 泄漏。

激活： 在使用之前，NEG泵需要進行激活。激活的過程通常涉及對NEG材料的加熱，使其表麵變得更具吸附能力。這個(ge) 過程可能需要一些時間，並且可能需要在高真空條件下完成。

預抽： 在激活完成後，進行預抽。這個(ge) 階段可以使用一個(ge) 前級泵，例如擴散泵或機械泵，將係統的壓力降低到NEG泵能夠開始工作的範圍。

吸氣： 一旦係統達到適當的預抽壓力，啟動NEG泵。NEG泵通過吸附氣體(ti) 分子的方式將氣體(ti) 從(cong) 真空室中抽取。這些吸附的氣體(ti) 分子將在NEG材料表麵電離，然後被電場收集並排出真空係統。

監測： 監測真空係統的壓力。NEG泵的工作將導致係統壓力降低到非常低的水平。使用真空規或其他真空監測設備確保係統在需要的真空水平上保持穩定。

停止： 在實驗完成後，停止NEG泵的工作。根據實驗需求，可能需要使用其他手段繼續排氣，例如使用其他類型的泵。

請注意，具體(ti) 的使用方法可能因不同型號的NEG泵而有所不同。在使用NEG泵之前，請務必仔細閱讀製造商提供的操作手冊(ce) 和安裝指南。同時，確保在真空係統中正確操作，以避免氣體(ti) 泄漏和設備損壞。

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