Agilent安捷倫 TSP鈦升華離子泵是否適用於高腐蝕性氣體

Agilent安捷倫(lun) TSP鈦升華離子泵通常不建議用於(yu) 處理高腐蝕性氣體(ti) 。這是因為(wei) 離子泵內(nei) 部包含鈦、等材料，而一些高腐蝕性氣體(ti) 可能對這些材料產(chan) 生不利影響。

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Agilent安捷倫(lun) TSP鈦升華複合離子泵 VacIon Plus 500

高腐蝕性氣體(ti) 可能引起離子泵的以下問題：

材料腐蝕： 一些氣體(ti) ，如氯氣、強酸氣體(ti) 等，對離子泵內(nei) 部的材料（包括鈦）可能產(chan) 生腐蝕作用，導致材料的損壞和壽命減短。

性能下降： 腐蝕性氣體(ti) 的作用可能導致離子泵的性能下降，抽氣速率降低，影響真空係統的整體(ti) 性能。

氣體(ti) 反應： 一些腐蝕性氣體(ti) 可能與(yu) 離子泵內(nei) 的材料發生反應，產(chan) 生不穩定的化合物，進一步影響係統的穩定性。

如果需要處理高腐蝕性氣體(ti) ，通常會(hui) 選擇其他類型的真空泵，例如：

螺杆泵： 具有較高的抽氣速率，適用於(yu) 一些揮發性氣體(ti) ，但對於(yu) 高腐蝕性氣體(ti) 也要謹慎選擇。

羅茨泵： 適用於(yu) 一些揮發性氣體(ti) ，具有較好的耐腐蝕性能。

離心泵： 對於(yu) 一些揮發性氣體(ti) 和腐蝕性氣體(ti) 具有一定的適用性。

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