Agilent安捷倫 離子泵如何避免真空係統中的氣體回流

Agilent安捷倫(lun) 離子泵是真空係統中常用的一種高真空泵，用於(yu) 將氣體(ti) 抽取出真空室。為(wei) 了避免真空係統中的氣體(ti) 回流，離子泵采用了一些設計和操作上的措施，包括：

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中型離子泵 VacIon Plus 55

電子束阻擋器： 離子泵通常配備了電子束阻擋器，位於(yu) 離子源和真空室之間。電子束阻擋器用於(yu) 阻止電子束進入離子源，並避免激發氣體(ti) 分子，從(cong) 而減少氣體(ti) 回流。這有助於(yu) 提高泵的效率和真空度。

磁場屏蔽： 一些離子泵具有磁場屏蔽結構，用於(yu) 阻擋離子束和電子束從(cong) 離子源流向真空室。這有助於(yu) 減少氣體(ti) 回流，特別是在真空係統中離子泵關(guan) 閉時。

冷陷結構： 有些離子泵在離子源周圍采用冷陷結構，通過將表麵冷卻到很低的溫度，使得氣體(ti) 分子在接觸表麵時凝結並被捕獲。這有助於(yu) 防止氣體(ti) 回流，並提高真空度。

動態操作： 在真空係統操作中，離子泵通常會(hui) 與(yu) 其他類型的泵（如分子泵、根據分子泵等）組合使用，以實現不同壓力範圍的抽取。通過合理選擇和操作其他泵，可以大大地減少氣體(ti) 回流的風險。

實時監測： 離子泵係統通常配備真空度和氣體(ti) 組分的實時監測裝置。通過監測真空度和氣體(ti) 成分的變化，可以及時發現並處理任何氣體(ti) 回流的情況。

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