Agilent安捷倫 渦輪分子泵如何實現對氣體的高真空抽取

Agilent安捷倫(lun) 渦輪分子泵是一種高真空泵，通過旋轉的渦輪葉片將氣體(ti) 分子抽取到泵的出口，實現高真空。以下是渦輪分子泵如何實現對氣體(ti) 的高真空抽取的基本原理：

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 渦輪分子泵 TwisTorr 804 FS

渦輪旋轉： 渦輪分子泵內(nei) 部包含一個(ge) 旋轉的渦輪，通常由多個(ge) 葉片組成。這個(ge) 渦輪通過電機驅動，使得渦輪以高速旋轉。旋轉的渦輪是實現氣體(ti) 抽取的關(guan) 鍵組件。

氣體(ti) 進入： 當渦輪旋轉時，泵的入口處的氣體(ti) 分子進入泵內(nei) 。氣體(ti) 可以是惰性氣體(ti) 、氫氣、氦氣等，根據應用需求和實驗條件的不同。

碰撞和運動傳(chuan) 遞： 進入泵內(nei) 的氣體(ti) 分子與(yu) 旋轉的渦輪葉片發生碰撞。由於(yu) 渦輪葉片非常輕，氣體(ti) 分子在與(yu) 葉片碰撞時會(hui) 傳(chuan) 遞動能給渦輪。這樣的碰撞和運動傳(chuan) 遞過程使得氣體(ti) 分子在渦輪周圍形成一個(ge) 旋渦，同時被推向渦輪的出口方向。

動能傳(chuan) 遞和排氣： 由於(yu) 渦輪的高速旋轉，氣體(ti) 分子不斷地與(yu) 葉片碰撞並傳(chuan) 遞動能。這導致氣體(ti) 分子在渦輪的影響下逐漸被加速，被推向渦輪的出口。在出口處，氣體(ti) 分子離開泵進入真空係統，從(cong) 而實現對氣體(ti) 的高真空抽取。

真空水平： 渦輪分子泵通常與(yu) 其他類型的真空泵（如根據分子泵、離心泵等）組合使用，以實現更高的真空水平。這種組合使用的係統通常稱為(wei) 真空係統。渦輪分子泵在這些係統中負責提高真空水平，將氣體(ti) 抽取到非常低的壓力範圍。

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