真空饋通Feedthrough在真空係統中的使用

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真空饋通Feedthrough是一種連接真空係統中的設備和外部環境的通道，通常用於(yu) 將真空係統內(nei) 的樣品或氣體(ti) 輸送到外部環境中進行處理或分析。真空饋通通常需要連接到一些其他設備，以實現其作用。以下是真空饋通在真空係統中常連接的一些設備：

真空泵：真空泵是一種用於(yu) 將氣體(ti) 抽出真空係統的設備，通常與(yu) 真空饋通一起使用以維持真空度。

樣品製備設備：例如濺射設備、離子束蝕刻設備、化學氣相沉積設備等。這些設備通常需要使用真空饋通將樣品或氣體(ti) 輸送到反應室內(nei) 。

光譜儀(yi) ：如質譜儀(yi) 、光電子能譜儀(yi) 等，這些儀(yi) 器通常需要將樣品置於(yu) 真空環境下進行測量分析。

真空室：如真空鍍膜室、真空實驗室等，這些設備需要連接真空饋通以維持真空環境。

氣相分析儀(yi) ：如氣相色譜儀(yi) 、氣相層析儀(yi) 等，這些儀(yi) 器需要使用真空饋通將氣體(ti) 樣品輸入到儀(yi) 器中進行分析。

真空饋通通常用於(yu) 連接真空係統內(nei) 部和外部的設備，以實現樣品輸送、真空維持和氣體(ti) 分析等目的。真空饋通的選擇和連接需要根據實際應用需求和係統構造來進行。

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