真空電極（Feedthrough）法蘭連接步驟

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真空電極（Feedthrough）法蘭(lan) 連接通常包括以下步驟：

準備工作：準備好法蘭(lan) 、密封墊、螺栓、螺母等零件，清潔電極和法蘭(lan) 上的雜物和汙垢，確保表麵光潔無劃痕。

安裝密封墊：在電極上放置一個(ge) 合適大小的密封墊，確保其完全覆蓋法蘭(lan) 連接麵。一般采用O形圈或者金屬層疊墊。

安裝法蘭(lan) ：將法蘭(lan) 輕輕放置在電極上，並將螺栓穿過法蘭(lan) 孔洞，螺母輕輕擰上。

調整法蘭(lan) 位置：調整法蘭(lan) 的位置，使其與(yu) 電極上的法蘭(lan) 孔洞對齊。

逐步擰緊螺栓：從(cong) 一個(ge) 螺栓開始，逐步擰緊螺栓和螺母，直到所有螺栓都已緊固。在擰緊螺栓和螺母時，需要根據法蘭(lan) 材料和密封墊的硬度適當調整擰緊力度，以確保法蘭(lan) 與(yu) 電極之間的密封性能。

泄漏測試：在安裝完成後，需要進行泄漏測試來驗證法蘭(lan) 與(yu) 電極之間的密封性能。通常采用質譜儀(yi) 或氦檢漏儀(yi) 來檢測泄漏。如果發現泄漏，需要重新檢查並調整法蘭(lan) 連接。

高密度型Sub-D真空饋通

需要注意的是，法蘭(lan) 連接的質量和密封性能對整個(ge) 真空係統的性能和可靠性都有重要影響。因此，在安裝和使用真空電極時，需要嚴(yan) 格遵守操作規程和要求，並進行定期的維護和檢查。

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